一、ESD操控的基本準則 做好ESD防護規劃:器材選型、合理布線、規劃維護電路等 消除和削減靜電的發生:削減或消除靜電發生的進程、維持進程和資料處于等電勢等 使靜電荷瀉放與中和:運用靜電導體、接地、電離器來瀉放與中和靜電 維護產品免遭ESD損傷:運用防靜電資料包裝和儲運
二、防靜電區規劃準則 按捺靜電荷的堆集和靜電壓的發生。如設備、儀器、工裝不運用塑料、有機玻璃、普通塑料袋。 安全、敏捷、有效地消除已發生的靜電荷,使 用有繩防靜電腕帶、防靜電椅、防靜電周轉車、防靜電周轉箱。 保證靜電壓小于100V。
三、防靜電體系要素
1.地上 防靜電地上(防靜電水磨石,防靜電地板)體電阻10 5 ~10 9 Ω,敷設地線網。
2.工位
3.接地
a、防靜電作業區有必要有安全牢靠的防靜電接地裝置,地電阻小于4 Ω。
b、作業臺面、地墊、坐椅和其它導靜電的ESD維護設備均應通過限流電阻接入地線,腕帶等應通過作業臺頂面接地點與地線銜接,作業臺不可相互串聯接地。
c、防靜電作業區接地體系,包含限流電阻和銜接端子應銜接牢靠并具有必定載流能力,限流電阻值選擇應保證漏泄電流不超過5mA ,下限值取為1M Ω 。
4.溫濕度 20~30℃,相對濕度30~70%。
5.增濕 增濕器使空氣潮濕,避免靜電荷堆集,此法不適于增濕后會發生有害影響的場所。
6.電離器 不能有效地泄放靜電荷的場合,可采用電離器通過空氣中的正負離子來避免和中和元器材和其它物體上電荷 堆集,電離能力大于 250V/s 。
7.人體 穿防靜電作業服、作業鞋,戴有繩防靜電腕帶、手套、指套等。
8.包裝 靜電靈敏器材應采取防靜電維護性包裝,如防靜電袋、防靜電盒等。
9.儲存、運輸 靜電靈敏器材有必要存放在防靜電容器(箱、袋)內,并用防靜電運輸工具(箱、車)周轉。貯運中要遠離靜電場、電磁場或放射場。
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